項目背景

　　磁控濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè),如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等;亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜領(lǐng)域;還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。透磁率可以作為評估磁性靶材透磁性能的有效指標(biāo)，其測試方法還沒有相應(yīng)的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，很大程度上制約了國內(nèi)磁性濺射靶材的研發(fā)、制作及工業(yè)化生產(chǎn)。

解決方案

1、測試設(shè)備：CIM-3140RMT透磁率測量裝置 CIM-3140RMT透磁率測量裝置是一款樣品透磁測量設(shè)備，主要用于磁性濺射靶材包括PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp、 %PTFstdev等參數(shù)測量，并對測試結(jié)果進(jìn)行統(tǒng)計分析，可繪制PTF曲線圖、%PTF曲線圖。 具有文件管理、測試和數(shù)據(jù)（圖形）輸出等功能， 可滿足用戶對磁性濺射靶材的測試、數(shù)據(jù)（報告）輸出及數(shù)據(jù)管理等需求。

2、設(shè)備特點(diǎn)

• ⑴、RMTest透磁測量系統(tǒng)為綠色軟件，無需繁瑣的安裝過程。
• ⑵、測量軟件運(yùn)行于Windows XP或 Win 7 操作系統(tǒng)下，符合Windows軟件規(guī)范，操作直觀簡捷。
• ⑶、采用橫向探頭測量樣品表面的透磁。
• ⑷、磁強(qiáng)計具備自動清零功能，能一鍵對表頭零點(diǎn)進(jìn)行清零。
• ⑸、可在軟件界面選擇磁場測試量程，無需通過手動按鍵切換量程檔位。
• ⑹、測試結(jié)果包含PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp等。
• ⑺、可導(dǎo)入多組數(shù)據(jù)進(jìn)行多個半徑曲線對比。
• ⑻、測試結(jié)果在PTF或%PTF坐標(biāo)上可以通過雙擊波形調(diào)出單點(diǎn)捕捉功能，可以在軟件界面最下方顯示鼠標(biāo) 當(dāng)前選中位置點(diǎn)的相對角度和磁場強(qiáng)度值。
• ⑼、儀器自帶水平儀。
• ⑽、支持各種型號的噴墨或激光打印機(jī)，可直接打印測試報告。
• ⑾、可直接通過E-mail發(fā)送彩色的測試報告。
• ⑿、有數(shù)據(jù)庫功能,可將測試數(shù)據(jù)輸出到EXCEL中，便于對測試結(jié)果進(jìn)行分析。
• ⒀、可將測試報告轉(zhuǎn)換（保存）為圖片文件，以方便在論文中插圖。

 3、主要技術(shù)參數(shù)

項目	指標(biāo)
系統(tǒng)控制	PC+6616PX 16位數(shù)據(jù)采集卡
X單軸行程	0-250mm，電動調(diào)節(jié)
Z單軸行程	0-200mm，手動調(diào)節(jié)
R旋轉(zhuǎn)軸	角度刻線間隔5度，旋轉(zhuǎn)速度1-6度/秒可調(diào)
測試時間	測試時間可調(diào)，最快60秒/圈
測量范圍	試樣外徑Φ100mm∽Φ600mm、高度≤50mm
磁強(qiáng)計	量程	1KGs, 2KGs, 4KGs, 8KGs
	測量精度	滿量程達(dá)0.5%
測量參數(shù)	PTFmean、PTFwarp、PTFrange、%PTFmax、%PTFmin、%PTFmean、%PTFwarp
A/D數(shù)據(jù)采集	16Bits，旋轉(zhuǎn)分辨率：3600點(diǎn)/360º
測量結(jié)果重復(fù)度	小于0.5%
測量軟件	Windows 7運(yùn)行環(huán)境，測量數(shù)據(jù)可以EXCEL形式保存在硬盤，可隨時查詢
測量報告	透磁場坐標(biāo)和透磁率坐標(biāo)
合格判定	按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行判定

 

 4、軟件界面






 5、測試曲線.

• 電磁閥/繼電器行業(yè)軟磁測量解決方案
• 電工鋼拉應(yīng)力下鐵損測量解決方案